Ausheizen

Ausheizen bezeichnet das Entfernen unerwünschter und zum Teil auch schädlicher Einflüsse, wie adsorbierte Stoffe an Oberflächen (z. B. Wasser), Verunreinigungen oder Konstellationen (z. B. Kristallgitter-Fehlstellen) aus Materialien oder Apparaten durch kontrolliertes Erhitzen auf eine bestimmte Temperatur über definierte Zeitspannen hinweg.

Damit die entfernten Stoffe die zu reinigenden Materialien nicht sofort wieder verschmutzen, sind teilweise zusätzliche Maßnahmen notwendig. So werden beispielsweise desorbierte Restgase mithilfe von Vakuumpumpen abgesaugt, d. h., die Proben werden unter Vakuum ausgeheizt.