High-k-Dielektrikum

Als High-k-Dielektrikum wird in der Halbleitertechnik ein Material bezeichnet, das eine höhere Dielektrizitätszahl ${\varepsilon }_{\mathrm {r} }$ aufweist als herkömmliches Siliciumdioxid (ε_r = 3,9) oder Siliciumoxinitride (ε_r < 6).

Die Bezeichnung „high-k“ ist dem Englischen entlehnt, wo die Dielektrizitätszahl häufig mit $\kappa$ (Kappa), bei Fehlen dieses Symbols auch mit k, bezeichnet wird.

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