Mask Aligner

Mask Aligner (dt. etwa Maskenpositionierer, Maskenausrichter) sind Vorrichtungen oder Geräte, die zur exakten Positionierung von Masken für die Fotolithografie in der Mikrochipherstellung benutzt werden.

Im Unterschied zu Steppern wird bei Mask Alignern eine Fotomaske verwendet, die die Vorlage für den gesamten Wafer enthält. Diese wird daher auch nur einmal belichtet. Bei Steppern wird die Vorlage auf der Maske mehrfach nebeneinander ("Steps") auf den Wafer projiziert.