Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie

Die niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (auch „Streuspektroskopie niederenergetischer Ionen“, engl. Low Energy Ion Scattering, LEIS) ist ein oberflächenanalytisches Verfahren zur elementaren Analyse von Festkörpern. Es gehört zu der Gruppe der Ionenstreuspektroskopie (engl. Ion Scattering Spectroscopy, ISS). Häufig findet man auch die synonyme Nutzung der Begriffe ISS und LEIS in Abgrenzung zur Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie (engl. Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS).