Röntgenreflektometrie
Die Röntgenreflektometrie (englisch X-ray reflectometry, XRR, bzw. grazing incidence X-ray reflectometry, GIXR) ist eine oberflächenempfindliche Messmethode. Sie wird u. a. in der Analytischen Chemie, der Physik und der Materialwissenschaft zur Charakterisierung von Oberflächen, Dünnschichten und Mehrfachschichtsystemen eingesetzt.
Sie ist verwandt mit vergleichbaren Methoden wie
- der Neutronenreflektometrie, die eine andere Art von Strahlung nutzt, die Neutronenstrahlung
- der Ellipsometrie, die eine andere Wellenlänge von elektromagnetischer Strahlung nutzt.
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