Silizium-Drucksensor

Ein Silizium-Drucksensor ist die bevorzugte Ausführungsform eines piezoresistiven Drucksensors. Er ist ein Messgerät für den mechanischen Druck oder Druckunterschied in Flüssigkeiten und Gasen mit einem elektrischen Messsignal. Der Sensor im engeren Sinn (als erstes Glied einer Messkette) ist eine durch Druck elastisch verformbare Membran, die aus Silizium besteht.

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