Turbomolekularpumpe

Eine Turbomolekularpumpe ist eine mechanische Vakuumpumpe. Sie arbeitet, indem sie das Pumpgas in einer molekularen Strömung fördert, arbeitet also wie die von Wolfgang Gaede 1913 erfundene Molekularpumpe. Sie ist im Kern ähnlich wie eine Turbine aus runden, koaxial liegenden Rotor- und Statorscheiben (aus radial verlaufenden gekippten Blättern) aufgebaut, die abwechselnd aufeinander folgen, und auf der Rotorachse bzw. im Pumpengehäuse befestigt sind. Der elektrische Antriebsmotor befindet sich auf der Rotorachse. Namensgebend ist die geometrisch turbinenartige Ausformung. Sie wurde 1956 von Pfeiffer Vacuum (Willi Becker) erfunden.