Weißlichtinterferometrie

Die Weißlichtinterferometrie (WLI) ist eine berührungslose optische Messmethode, welche die Interferenz breitbandigen Lichts (Weißlicht) ausnutzt und so 3D-Profilmessungen von Strukturen mit Abmessungen zwischen einigen Zentimetern und einigen Mikrometern erlaubt.

**Oben**: Weißlichtinterferogramm, darunter **Rot**-, **Grün**- und **Blau**kanal des oben dargestellten Weißlichtinterferogramms

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