Technologieknoten

Der Begriff Technologieknoten (englisch technology node) bezeichnet in der Halbleitertechnik einen Meilenstein für die Definition einer Herstellungsprozessgeneration und bezieht sich im Wesentlichen auf die kleinste fotolithografisch herstellbare Strukturgröße.

Der Begriff selbst ist jedoch sehr abstrakt und beschreibt nur grob den technologischen Fortschritt der Branche. So unterscheiden sich die eingesetzten Techniken nicht nur zwischen den verschiedenen Herstellern an einem Technologieknoten, sondern auch zwischen den Produkten eines Halbleiterherstellers (vor allem bei Auftragsfertigern, sogenannten Foundrys) beim selben Technologieknoten. Des Weiteren gibt es keinen festen Bezug zur Gate-Länge von mikrostrukturierten Transistoren. Außerdem wurden auch viele andere Bauelemente als Teil der Mikro- und später Nanoelektronik stark verkleinert.

Seit 1997 wurden die Knoten durch die International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) definiert, welche ab 2017 durch die International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) abgelöst wurde. Es wurde festgestellt, dass eine einfache Skalierung der Chips nach dem Mooreschen Gesetz in Zukunft nicht mehr möglich sein wird. Stattdessen werden neue Ansätze wie die Chiplet- und Multi-Chip-Modul-Technologie, Mehrkernprozessoren und andere ultraintegrierte Chipsysteme benötigt.