Ansprengen

Beim Ansprengen (auch Anschieben) werden zwei glatte, ebene Oberflächen nur durch deren molekulare Anziehungskräfte verbunden. In der Halbleiterherstellung wird der Prozess als Waferbonden bezeichnet.

  1. ↑ Ulrich Gösele, Gertrud Kräuter, Andreas Plößl: Kleben ohne Klebstoff mit Haftkraft. In: Spektrum der Wissenschaft 4 / 2000, Seite 83. Spektrum Verlag, 1. April 2000, abgerufen am 15. April 2024.
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