Energiedispersive Röntgenspektroskopie

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (englisch energy dispersive X-ray spectroscopy, EDX, EDXS, EDRS oder EDS, auch energiedispersive Röntgenanalyse, EDA, genannt) ist eine zur Röntgenspektroskopie gehörende Messmethode der Werkstoffprüfung und Materialanalyse. Man regt die Atome in der Probe durch einen Elektronenstrahl einer bestimmten Energie an, sie senden dann Röntgenstrahlung einer für das jeweilige Element spezifischen Energie aus, die charakteristische Röntgenstrahlung. Diese Strahlung gibt Aufschluss über die Elementzusammensetzung der Probe. Ein ähnliches Verfahren ist die energiedispersive Röntgenabsorption, bei der die Absorption anstelle der Emission ausgewertet wird.

1. ↑ Maria Mulisch, Ulrich Welsch: Romeis Mikroskopische Technik. Springer, 2010, ISBN 978-3-8274-2254-5, S. 32. 
2. ↑ Horst Biermann, Lutz Krüger: Moderne Methoden der Werkstoffprüfung. John Wiley & Sons, 2014, ISBN 978-3-527-67070-3, S. 232 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
3. ↑ DC Bell, AJ Garratt-Reed: Energy Dispersive X-ray Analysis in the Electron Microscope. Garland Science, 2003, ISBN 978-0-203-48342-8 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
4. ↑ Frank de Groot, Akio Kotani: Core Level Spectroscopy of Solids. CRC Press, 2008, ISBN 978-1-4200-0842-5, S. 484 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).