Hexamethyldisilazan

Strukturformel
Allgemeines
Name	1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Andere Namen	Hexamethyldisilazan; HMDS; Bis(trimethylsilyl)amin;
Summenformel	C6H19NSi2
Kurzbeschreibung	farblose Flüssigkeit
Externe Identifikatoren/Datenbanken
EG-Nummer	213-668-5
ECHA-InfoCard	100.012.425
PubChem	13838
Wikidata	Q425001
Eigenschaften
Molare Masse	161,39 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig
Dichte	0,7742 g·cm−3 (20 °C)
Schmelzpunkt	−82 °C
Siedepunkt	127 °C
Dampfdruck	20 hPa (20 °C)
Löslichkeit	zersetzt sich in Wasser
Brechungsindex	1,4069–1,4089
Sicherheitshinweise
H- und P-Sätze	H: 225‐302‐311+331‐314
	P: 210‐280‐301+330+331‐302+352‐304+340‐305+351+338‐308+310‐403+235
Toxikologische Daten	850 mg·kg−1 (LD50, Ratte, oral); 543 mg·kg−1 (LD50, Kaninchen, transdermal);
	Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C

Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C₆H₁₉NSi₂, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen. In der Halbleiterindustrie erlaubt die Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (engl. CVD) eine einfache Applikation von HMDS.

In der organischen Chemie wird Hexamethyldisilazan unter anderem zur Einführung von Trimethylsilyl-Gruppen verwendet. Im Vergleich zu Chlortrimethylsilan ist die Handhabung angenehmer, da Hexamethyldisilazan gegenüber Wasser bzw. Luftfeuchtigkeit recht unempfindlich ist. Außerdem kann auf den Zusatz einer zusätzlichen Base verzichtet werden, da bei der Silylierung lediglich Ammoniak als Nebenprodukt auftritt. Dafür muss meist eine höhere Reaktionstemperatur angewandt werden, was bei empfindlichen Substraten ein Nachteil sein kann.

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Eintrag zu 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 8. Juni 2022. (JavaScript erforderlich)
↑ Eintrag zu Hexamethyldisilazan bei ChemBlink, abgerufen am 25. Februar 2011.
↑ Phillip Laube: HMDS. In: Lexikon - Halbleitertechnologie von A bis Z. Abgerufen am 19. April 2011.

[GESTIS-1] 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Eintrag zu 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 8. Juni 2022. (JavaScript erforderlich)

[2] Eintrag zu Hexamethyldisilazan bei ChemBlink, abgerufen am 25. Februar 2011.

[3] Phillip Laube: HMDS. In: Lexikon - Halbleitertechnologie von A bis Z. Abgerufen am 19. April 2011.