Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektrometrie

Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektrometrie (SNMS) ist ein Analyseverfahren der Oberflächenphysik/Oberflächenchemie und gehört wie der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS), der Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) und der niederenergetischen Ionenstreuspektroskopie (LEIS) zu den Ionenstrahltechniken.

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