Siliciumtetrahalogenide
Als Siliciumtetrahalogenide, oder Tetrahalogensilane bezeichnet man Verbindungen des Siliciums mit den Halogenen Fluor, Chlor, Brom oder Iod vom Typ SiX4 (X=Halogen). Diese Halogensilane sind Derivate des Monosilans, wobei alle Wasserstoff-Atome durch Halogene ersetzt sind. Es existieren von allen stabilen Halogeniden die reinen Tetrahalogensilane, daneben sind auch gemischte Tetrahalogensilane bekannt.