Tantalnitrid

Kristallstruktur
	_ Ta3+ 0 _ N3−
Allgemeines
Name	Tantalnitrid
Andere Namen	Tantal(III)-nitrid; Tantalmononitrid;
Verhältnisformel	TaN
Kurzbeschreibung	grauer, geruchloser Feststoff
Externe Identifikatoren/Datenbanken
EG-Nummer	234-788-4
ECHA-InfoCard	100.031.613
PubChem	82832
ChemSpider	74745
Wikidata	Q415489
Eigenschaften
Molare Masse	194,96 g·mol−1
Aggregatzustand	fest
Dichte	13,8 g·cm−3 (ε-Form); 15,6 g·cm−3 (δ-Form);
Schmelzpunkt	3360 °C
Löslichkeit	nahezu unlöslich in Wasser
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung	keine GHS-Piktogramme
	keine GHS-Piktogramme
H- und P-Sätze	H: keine H-Sätze
	P: keine P-Sätze
	Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Tantalnitride sind keramische Verbindungen aus Tantal und Stickstoff. Sie treten in mehreren Modifikationen und Oxidationsstufen auf (α-TaN, ε-TaN, Ta₂N, Ta₃N₅, Ta₄N₅, Ta₅N₆). Am häufigsten verwendet wird Tantalmononitrid TaN. Es wird hauptsächlich bei der Chipherstellung als Sperr- und Haftschicht (Low-k-Dielektrikum) verwendet, kommt jedoch auch bei hochgenauen Dünnschichtwiderständen zum Einsatz. Bei Dickschicht-Solarzellen setzt man Tantalnitrid als Diffusionsbarriere ein. Das Material wird dabei durch Sputtern aufgetragen. Weiterhin wird Tantalnitrid als Beschichtungsmaterial in der Medizintechnik oder von Schmelztiegeln verwendet, da es resistent gegen flüssige Aktiniden-Metalle ist.

1 2 3 4 5 Datenblatt Tantalum nitride, 99.5% (metals basis) bei Alfa Aesar, abgerufen am 7. Dezember 2019 (Seite nicht mehr abrufbar).
1 2 Dale L. Perry: Handbook of Inorganic Compounds. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-1462-8, S. 410 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

[Alfa-1] 1 2 3 4 5 Datenblatt Tantalum nitride, 99.5% (metals basis) bei Alfa Aesar, abgerufen am 7. Dezember 2019 (Seite nicht mehr abrufbar).

[Dale_L._Perry-2] 1 2 Dale L. Perry: Handbook of Inorganic Compounds. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-1462-8, S. 410 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).