Weißlichtinterferometrie

Oben: Weißlichtinterferogramm, darunter Rot-, Grün- und Blaukanal des oben dargestellten Weißlichtinterferogramms

Die Weißlichtinterferometrie (WLI) ist eine berührungslose optische Messmethode, welche die Interferenz breitbandigen Lichts (Weißlicht) ausnutzt und so 3D-Profilmessungen von Strukturen mit Abmessungen zwischen einigen Zentimetern und einigen Mikrometern erlaubt.

  1. ↑ Michael Schuth, Wassili Buerakov: Handbuch Optische Messtechnik – Praktische Anwendungen für Entwicklung, Versuch, Fertigung und Qualitätssicherung. 1. Auflage. Carl Hanser, München 2017, ISBN 978-3-446-43634-3, S. 106.
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