Strukturgröße

Die Strukturgröße oder auch Strukturbreite (englisch process size) ist eine Größenangabe der Halbleitertechnik, Mikroelektronik und Nanoelektronik. Sie bezeichnet den Wert der kleinsten Struktur, die zuverlässig fotolithografisch hergestellt werden kann. Zur Bestimmung wird in der Regel das halbe Abstandsmaß (half pitch) einer periodischen Linienstruktur als Referenzstruktur genutzt. Daher wird sie auch als minimale Strukturgröße (englisch minimum feature size, MFS) bezeichnet. Die Längeneinheit hat üblicherweise das Symbol F, auch f, dies ist jedoch nicht standardisiert.

Der Begriff wird auch im Bereich der digitalen, optischen Speichermedien verwendet, meist für die Abmessungen der Lands und Pits von optischen Speichermedien wie CD, DVD und Blu-ray Disc. Auch bei der Nanotechnologie, die sich eher in einem physikalisch-technischen Kontext mit Strukturen bis hinauf zu 100 nm beschäftigt, wird der Begriff angewandt.