Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W₅Si₃.

Gewinnung und Darstellung

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.

${\displaystyle \mathrm {2\ SiH_{4}+WF_{6}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF+H_{2}} }$

${\displaystyle \mathrm {2\ SiH_{2}Cl_{2}+WF_{6}+3\ H_{2}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF+2\ HCl} }$

${\displaystyle \mathrm {Si_{2}H_{6}+WF_{6}\longrightarrow WSi_{2}+6\ HF} }$

Eigenschaften

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm (Raumgruppen-Nr. 139)Vorlage:Raumgruppe/139.

Verwendung

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.

Einzelnachweise

1. 1 2 3 4 5 W. M. Haynes (Hrsg.): CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data. Begründet von David R. Lide. 93. Auflage. CRC Press, Boca Raton 2012, ISBN 978-1-4398-8049-4, S. 4–96 (englisch, eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
2. 1 2 Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 12. Oktober 2012 (PDF).
3. ↑ Externe Identifikatoren von bzw. Datenbank-Links zu Pentawolframtrisilicid: CAS-Nummer: 12039-95-1, EG-Nummer: 234-912-7, ECHA-InfoCard: 100.031.726, PubChem: 6336893, ChemSpider: 4891886, Wikidata: Q82897389.
4. ↑ Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
5. ↑ Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
6. ↑ Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
7. ↑ Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
8. ↑ R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).