KLA-Tencor ist ein weltweites Unternehmen aus den Vereinigten Staaten, das Geräte zur Waferinspektion und Halbleiter-Produktionsüberwachung herstellt. Der Hauptsitz des Unternehmens befindet sich in Milpitas, Kalifornien. Das Unternehmen ist börsennotiert im amerikanischen NASDAQ unter dem Kürzel KLAC.

Die von KLA-Tencor hergestellten Geräte messen beispielsweise Waferkrümmung, Waferrauheit, Oberflächendefekte, den Overlay-Versatz oder Eigenschaften von dünnen Filmen, die auf den Wafern aufgebracht wurden (z. B. Dicke und Brechungsindex). Entwicklung und Produktion finden statt in Milpitas und den Niederlassungen in Deutschland (Weilburg), Singapur, Israel, Hongkong und China (Shanghai und Shenzhen).

Zu den größten Kunden gehören die Halbleiterhersteller TSMC, Samsung, Intel und Micron Technology.

Geschichte

KLA-Tencor entstand im Jahr 1997 durch die Fusion von KLA Instruments und Tencor Instruments. Beide Unternehmen hatten Geräte zur Verbesserung der Halbleiterproduktion hergestellt: KLA Instruments produzierte seit 1977 Maschinen zur automatischen Prüfung von Photomasken, während die im Jahr 1977 gegründete Tencor Instruments Maschinen zur Ausbeuteverbesserung herstellte.

Eine im Jahr 2015 abgegebenes Übernahmeangebot durch den Konkurrenten Lam Research wurde ein Jahr später wegen wettbewerbsrechtlicher Bedenken des Justizministerium der Vereinigten Staaten zurückgezogen.

Einzelnachweise

1. 1 2 3 Annual Report 2021. (PDF) KLA-Tencor, 2021, abgerufen am 29. Juni 2022 (englisch). 
2. ↑ Factsheet. KLA-Tencor, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch). 
3. ↑ Company Overview. KLA-Tencor, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch). 
4. ↑ Marc Sauter: Lithographie: KLA-Tencor und Lam Research fusionieren zu größtem Ausrüster. In: Golem.de. 26. Oktober 2015, abgerufen am 9. Januar 2018. 
5. ↑ Chip equipment maker Lam Research calls off KLA-Tencor deal. Reuters, 6. Oktober 2016, abgerufen am 9. Januar 2018 (englisch).